Печь CVD/CVI для углеродных и керамических материалов

Индивидуальные решения по требованиям заказчика
Проектирование ПК «АКТ»
Производство ПК «АКТ»
Индивидуальные решения по требованиям заказчика
Проектирование ПК «АКТ»
Производство ПК «АКТ»
Установка применяется для CVD-осаждения и CVI-инфильтрации углеродных, керамических и композиционных материалов в одной системе. Слой и матрица формируются из реакционной газовой среды в контролируемом температурном режиме.
CVD формирует функциональные покрытия на поверхности, а CVI инфильтрирует пористые заготовки с образованием композитной матрицы. Температура, давление и состав газов задают повторяемость структуры и свойств.
Универсальная конфигурация подбирается с учётом технологической схемы и набора газовых прекурсоров.
CVD/CVI-технологии
Углеродные материалы
Керамические материалы
Высокотемпературные материалы
НИОКР
Аэрокосмос
Характеристики
Тип процесса
CVI (Chemical Vapor Infiltration)
Диапазон температур
900–1400 °C
Рабочая атмосфера
Вакуум / реакционные газы
Рабочее давление
10⁻¹–10⁻³ мбар (по процессу)
Объём загрузки
10–1000 л
Тип камеры
Горизонтальная / вертикальная
Тип нагрева
Электрический, резистивный
Равномерность температуры
±3–5 °C
Система управления
PLC + сенсорная панель (HMI)
Заказать звонок
Технические
особенности
CVD и CVI в одной печи
Совмещает осаждение и инфильтрацию
Контролируемая среда
Обеспечивает вакуум или пониженное давление реакционных газов
Контроль параметров процесса
Задает температуру, давление и расход газов
Равномерное температурное поле
Выравнивает нагрев по всему объёму камеры
Подача прекурсоров
Автоматически дозирует газовые компоненты
Многостадийные циклы CVD/CVI
Следуют заданной последовательности и программе
Назначение
1
Реализация процессов CVD и CVI в одной установке
2
Осаждение углеродных и керамических покрытий
3
Формирование углеродных и керамических матриц в пористых заготовках
4
Получение композиционных материалов с заданными свойствами
5
Проведение газофазных процессов в НИОКР и промышленном производстве
Обсудить задачу
Дополнительные
опции
Массовые расходомеры
Точно задают газовые потоки
Многоступенчатая вакуумная откачка
Форвакуумный и турбомолекулярный насосы
Многозонный контроль температуры
Регулирует нагрев по зонам
Дожигание и газоочистка
Окисляет отходящие газы до CO₂ и воды, очищает отмосферу
Протоколирование параметров
Ведёт журнал по партиям
Интеграция с SCADA и ERP
Передаёт данные для удалённого мониторинга