Системы подачи газов

Системы подачи газов применяются для дозирования и распределения технологических газов с нужным составом, расходом, давлением и с учетом безопасности в вакуумных, термических и химических процессах, где параметры газовой среды определяют качество результата.

Газораспределительные шкафы и узлы регулирования задают стабильную атмосферу, дозируют прекурсоры, выполняют продувку или создают защитную среду. Контроль расхода и давления повышает повторяемость обработки и безопасность эксплуатации.

Система интегрируется в действующие установки или поставляется в составе новых комплексов; конфигурация оборудования, тип компонентов и уровень автоматизации подбираются с учётом требований к точности, безопасности и чистоте газовой среды.